| 产品名称 | 组分含量 | 分子式 |
| 硅烷混合气 | 硅烷 -20% SiH4 in N2 | SiH4+N2 |
| 硅烷 -2.99% SiH4 in N2 | SiH4+N2 | |
| 磷烷混合气 | 磷烷 -10% PH3 in H2 | PH3+H2 |
| 磷烷 -1% PH3 in H2 | PH3+H2 | |
| 乙硅烷混合气 | 乙硅烷 -200ppm Si2H6 in H2 | Si2H6+H2 |
| 乙硅烷 -2% Si2H6 in H2 | Si2H6+H2 | |
| 乙硼烷混合气 | 乙硼烷 -5% B2H6 in N2 | B2H6+N2 |
| 乙硼烷 -1% B2H6 in H2 | B2H6+H2 | |
| 锗烷混合气 | 锗烷-10% GeH4 in H2 | GeH4+H2 |
电子混合气
产品名称组分含量分子式硅烷混合气硅烷 -20% SiH4 in N2SiH4+N2硅烷 -2.99% SiH4 in N2SiH4+N2磷烷混合气磷烷 -10% PH3 in H2PH3+H2磷烷 -1% PH3 in H2PH3+H2乙硅烷混合气乙硅烷 -200ppm Si2H6 in H2Si2H6+H2乙硅烷 -2% Si2H6 in H2Si2H6+H2乙硼烷混合气乙硼烷 -5% B2H6
产品分类:
混合气和标准气体
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