| 产品名称: 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride NF3 | |
| 包装规格: 40L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT) | |
| 充装量: 20kg/瓶 | |
| 项目 | 纯度指标 |
| 三氟化氮 NF3 | 99.99% |
| 氧气 | ≤3.0 ppmv |
| 氮气 | ≤5.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 甲烷 | ≤1.0 ppmv |
| 水分 | ≤1.0 ppmv |
| 四氟化碳 | ≤1.0 ppmv |
| 氧化亚氮 | ≤2.0 ppmv |
| 六氟化硫 | ≤1.0 ppmv |
| 氢氟酸 | ≤1.0 ppmv |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 三氟化氮 |
| DOT 分类 | 2.3 |
| DOT 标签 | 不可燃气体，氧化性 |
| UN NO. | UN 2451 |
| CAS No. | 7783-54-2 |
| DISS/JIS/DIN477 | 640/W22-14L/NO.6 |
| 运输状态 | 压缩性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 |
| 自然温度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 71 |
| 比重 ( 空气 =1) | 2.46 |
| 临界温度 ( °C ) | -39.15 |
| 临界温度 ( psig ) | 632.19 |
| 应用 | |
| 用于半导体、TFT-LCD 以及光伏电池制造过程中的化学气相沉积（CVD ) 工程，是用于去除制程室（ Chamber ） 内壁上的残留物质的特种气体。 | |
三氟化氮
产品名称: 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride NF3包装规格: 40L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT)充装量: 20kg/瓶项目纯度指标三氟化氮 NF399.99%氧气≤3.0 ppmv氮气≤5.0 ppmv二氧化碳≤1.0 ppmv一氧化碳≤1.0 ppmv甲烷≤1.0 ppmv水分≤1.0 ppmv四氟化碳≤1.0 ppmv氧化亚氮≤2.0 ppm
产品分类:
高纯气体
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