| 产品名称: 三氯化硼 Boron Trichloride BCl3 | ||
| 包装规格: 40L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT) | ||
| 充装量: 50kg/瓶 | ||
| 项目 | 纯度指标 | |
| 三氯化硼 BCl3 | 99.9% | 99.999% |
| 自由氯气 Cl2 | ≤100 ppmw | - |
| 光气 COCl2 | ≤100 ppmw | - |
| 氧气 O2 | - | ≤1.0 ppmv |
| 氮气 N2 | - | ≤1.0 ppmv |
| 二氧化碳 CO2 | - | ≤1.0 ppmv |
| 一氧化碳 CO | - | ≤1.0 ppmv |
| 水分 H2O | - | - |
| 运输 | ||
| DOT 运输名称 | 三氯化硼 | |
| DOT 分类 | 2.3 | |
| DOT 标签 | 毒气/呼吸危害，腐蚀 | |
| UN | UN1741 | |
| CAS | 10294-34-5 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/634/W22-14L | |
| 运输状态 | 液化性气体 | |
| 技术信息 | ||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
| 自然温度 (°C ) | - | |
| 分子量 (g/mol) | 117.17 | |
| 比重 ( 空气 =1) | 4.04 | |
| 临界温度 ( °C ) | 178.8 | |
| 临界温度 ( psig ) | 546.6 | |
| 应用 | ||
| 1. 在半导体制造中，三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散。 2. 离子注入。 3. 金属等离子体蚀刻。 4. 在各种化学反应。 | ||
三氯化硼
产品名称:三氯化硼 Boron Trichloride BCl3包装规格: 40L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT)充装量: 50kg/瓶项目纯度指标三氯化硼 BCl399.9%99.999%自由氯气 Cl2≤100 ppmw-光气 COCl2≤100 ppmw-氧气 O2-≤1.0 ppmv氮气 N2-≤1.0 ppmv二氧化碳 CO2-≤1.0 ppmv一氧化碳 CO-
产品分类:
高纯气体
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