硼同位素 硼11
B11硼11，半导体制造用三氟化硼气体。三氟化硼气体是生产高集成度、高密度微芯片的理想硅片掺杂剂。 11BF3提供了更高的效率和更高的生产吞吐量，并有助于使芯片更小更好。
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